模擬金屬密封;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
最大進氣壓力:140 psi(981 kPa)
美國Aera FC-7700系列質(zhì)量流量計
優(yōu)點:
高性價比
響應速度快:小于2秒
無與倫比的可靠性:使用一年以上,零點漂移小于滿量程的0.5%
易于集成:標準接頭和尺寸
出眾的效果:高品質(zhì)膜層與蝕刻特性
特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許最大清洗流量:高達最大校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
FC-7700氣體質(zhì)量流量計的詳細資料:
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產(chǎn)品,該流量計采用非金屬密封,流量控制精確,性價比高。該產(chǎn)品專為從業(yè)于半導體、平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場的工藝和設備工程師設計,同時,該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現(xiàn)出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
性價比高:
FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或高漏率要求的應用而定制,不僅性價比好,而且控制精度非常高。
響應速度快:
FC-7700系列產(chǎn)品采用最新技術設計,工作性能遠遠優(yōu)于同類質(zhì)量流量控制器MFC.其先進之處包括:采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比,F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應速度。提高響應速度之后,避免了出現(xiàn)過沖,達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品中是最快的。
無與倫比的可靠性:
由高質(zhì)量的電子組件和采用耐用、少元器件的設計理念,這使它可以經(jīng)受強射頻場的干擾,滿足其它運轉(zhuǎn)要求,并具有同類產(chǎn)品中最佳的零點漂移穩(wěn)定性--使用超過一年,零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產(chǎn)品中,僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。
易于集成:
替換其它品牌,即可輕松獲得Area質(zhì)量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢,且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產(chǎn)品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。
出眾的效果:
FC-7700系列質(zhì)量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時還有高度的可重復性。
型號參數(shù):
類別
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FC-7700、7700C、7700CD、7700CU
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FC-7710、7710C、7710CD、7710CU
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FC-7720、7720C、7720CD
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滿量程范圍
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10sccm到5slm
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6到20slm
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35到150slm
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20到50slm
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響應時間
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到達設定點±2%所需時間<2秒
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到達設定點±2%所需時間<3秒
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精度
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滿量程±1%范圍內(nèi)
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滿量程±2%范圍內(nèi)
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線性度
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滿量程±0.5%范圍內(nèi)
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滿量程±0.5%范圍內(nèi)
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滿量程±1%范圍內(nèi)
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滿量程±1%范圍內(nèi)
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重復精度
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滿量程±0.2%范圍內(nèi)
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漏率
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最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
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控制范圍
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滿量程的5到100%
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壓差
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7至40 psi
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10至40 psi(517至2069托)
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21至40 psi(1086至2069托)
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(362至2069托)
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14至40 psi(724至2069托)
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正常工作壓力
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50 psi(2586托)
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最大入口壓力
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最大值150 psi(7740托)
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溫度范圍
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5至45℃
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注:可根據(jù)不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數(shù)字型的FC-D770系列,全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。
FC-7800_模擬金屬密封質(zhì)量流量控制器
模擬金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 最大進氣壓力:140 psi(981 kPa)
FC-D980_數(shù)字式金屬密封質(zhì)量流量控制器
數(shù)字式金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作壓力:70 psig(490 kPag)
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