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MKS質(zhì)量流量控制器

MKS GE50A質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品分類(lèi):MKS質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品介紹

GE50A質(zhì)量流量控制器

GE50A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量,特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。

對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器,GE50A可作為直接替代的產(chǎn)品,標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使GE50A能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。

技術(shù)參數(shù):

全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。

控制量程:2% to 100%的全量程。

測(cè)量精度:全量程的1%

靈敏度:全量程的0.1%

熱機(jī)時(shí)間:小于2Min.

響應(yīng)速度:小于2Sec.

輸入電壓:±15VDC@100ma

輸出電壓:0-5VDC

連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.

數(shù)字:RS485或Device net或Profibus

法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等

材質(zhì):316不銹鋼。

質(zhì)保期:有限保修自售出之日起12個(gè)月。

上一個(gè) CDG025D-377-001真空壓力計(jì)
 
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