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HORIBA質(zhì)量流量控制器

SEC-E400J質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品分類:HORIBA質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品介紹

 

概要
作為提高生產(chǎn)的必要因素、制造設(shè)備的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到關(guān)注。這些要求對(duì)氣體供給系統(tǒng),也就是被稱為關(guān)鍵設(shè)備的質(zhì)量流量控制器來說有很緊密的聯(lián)系。而批量使用搭載了在成本表現(xiàn)方面優(yōu)勢(shì)明顯的電磁閥的質(zhì)量流量控制器,則可完全符合制程要求。 
特征
  • 采用金屬避風(fēng)墊圈
可對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體
  • 搭載異常報(bào)警功能
警報(bào)輸出功能為其標(biāo)準(zhǔn)搭載

規(guī)格

?SEC-E400J

 

氣體連接部材質(zhì)

SUS-316L,Teflon

磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式

非通電時(shí):閉標(biāo)準(zhǔn)

流量范圍

5/10/20/50/100/200/500 SCCM,1/2/3/5/10 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(全量程)

流量精度

±1.0% F.S.(全量程)

?SEC-E450J

 

氣體連接部材質(zhì)

SUS-316L,Teflon

磁性不銹鋼材質(zhì)閥形式

非通電時(shí):閉標(biāo)準(zhǔn)

流量范圍

20/30 SLM

流量控制范圍

2?100% F.S.(全量程)

流量精度

±1.0% F.S.(全量程)

上一個(gè) SEC-8000 高溫質(zhì)量流量控制器
 
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