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產(chǎn)品分類:Aera質(zhì)量流量控制器
數(shù)字式;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% of setpoint(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS);
正常工作壓力:50 psig(345 kPag)
單位:臺 產(chǎn)地:美國 交貨周期:6周 保期:一年 驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn):OEM標(biāo)準(zhǔn)
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