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產(chǎn)品分類:MKS質(zhì)量流量控制器
M330B_低壓降模擬金屬密封質(zhì)量流量控制器
模擬式;
流量范圍:5-100 sccm;
正常工作壓力:≤1200 Torr;
精度:±1% of F.S.,N2 calibration
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