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產(chǎn)品分類:BROOKS質(zhì)量流量控制器 / Brooks質(zhì)量流量計
SLA5820數(shù)字橡膠密封壓力式質(zhì)量流量計
數(shù)字橡膠密封;
流量范圍:0-30 slpm;
精度:±0.5% of FS;
最大工作壓力:1450 psia
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