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INFICON SKY CDG025D電容膜片真空計(jì)屬于高精度溫度補(bǔ)償型真空機(jī)，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能，數(shù)字電子學(xué)提高真空計(jì)的性能和易于使用的特點(diǎn)，如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整，抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬(wàn)次壓強(qiáng)周期包括大氣沖擊的長(zhǎng)使用壽命。傳感器屏敝保護(hù)真空計(jì)防止過(guò)程污染。堅(jiān)固耐用的機(jī)械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強(qiáng)了EMC兼容性，長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償性。CDG025D真空計(jì)為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。
優(yōu) 點(diǎn)
◆ 全刻度范圍從100毫乇…1000乇
◆ 電源接通后的快速穩(wěn)定性
◆ 暴露大氣壓后的快速恢復(fù)性
◆ 抗腐蝕性陶瓷傳感監(jiān)測(cè)器
◆ 卓越的長(zhǎng)期訊號(hào)穩(wěn)定性
◆ 溫度補(bǔ)償
◆ 保護(hù)傳感器防止污染
◆ 一鍵調(diào)零功能
◆ 寬范圍電源
◆ 2個(gè)設(shè)點(diǎn)（選項(xiàng)）
◆ RS232接口（選項(xiàng)）
用 途
要求高的應(yīng)用條件下，精確而快速的壓強(qiáng)測(cè)量:
◆ 用于刻蝕，CVD, PVD, ALD半導(dǎo)體制造設(shè)備
◆ 資料貯存和顯示器制造設(shè)備
◆ 工業(yè)真空設(shè)備
◆ 常用高精度真空測(cè)量
訂 貨 資 料
CDG025D，溫度補(bǔ)償型
全刻度范圍 法蘭型式
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Torr
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Pascal
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Mbar
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1/2”tube
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DN 16 ISO-KF
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DN 16 CF-R
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8 VCR
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1000
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133322
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1333
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375-000
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375-001
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375-002
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375-003
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100
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13332
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133
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376-000
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376-001
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376-002
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376-003
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10
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1333
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13.3
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377-000
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377-001
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377-002
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377-003
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1
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13.3
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0.13
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378-000
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378-001
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378-002
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378-003
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0.1
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13.3
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0.13
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379-000
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379-001
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379-002
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379-003
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CDG025D, 溫度補(bǔ)償型，帶2個(gè)設(shè)點(diǎn)和RS232接口
全刻度范圍 法蘭型式
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Torr
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Pascal
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Mbar
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1/2”tube
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DN 16 ISO-KF
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DN 16 CF-R
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8 VCR
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1000
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133322
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1333
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375-300
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375-301
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375-302
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375-303
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-
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110000
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1100
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375-500
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375-501
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375-502
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375-503
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200
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26664
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267
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382-300
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382-301
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-
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-
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100
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13332
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133
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376-300
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376-301
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376-302
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376-303
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-
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10000
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100
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376-500
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376-501
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376-502
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376-503
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20
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2666
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26.7
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-
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-
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-
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10
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1333
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13.3
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377-300
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377-301
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377-302
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377-303
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-
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1000
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10
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377-500
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377-501
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377-502
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377-503
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1
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133
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1.3
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378-300
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378-301
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378-302
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378-303
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-
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100
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1
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378-500
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378-501
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378-502
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378-503
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0.25
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33.3
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0.33
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385-300
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385-301
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385-302
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385-303
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0.1
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13.3
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0.13
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379-300
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379-301
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379-302
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379-303
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-
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10
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0.1
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319-500
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379-501
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379-502
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379-503
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