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應(yīng)用及案例
● 大學(xué)/研究所
● 真空行業(yè)及鍍膜
● 半導(dǎo)體
● 光伏
● 過程工藝氣體測量
產(chǎn)品特色
數(shù)字化產(chǎn)品
帶氣動截止閥，泄漏率低
多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
多參數(shù)控制:體積流量、質(zhì)量流量和壓力
標(biāo)配三種控制方式：數(shù)字、模擬和本地面板
可選高精度：可優(yōu)于0.5%
量程比 200:1
響應(yīng)時(shí)間快 僅需100ms(可調(diào))
內(nèi)置98種氣體
現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
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